真空容器（真空チャンバー）

小型から中型程度の真空チャンバーを製作致します。

分光用真空チャンバー

低温ターゲット式分光用真空チャンバーです。

ペルチェモジュール冷却・加熱装置

ペルチェモジュールを使用した冷却・加熱装置です。 利点 ・温度可変が早い ・温度安定性がよい。 ・寒剤不用 温度調整範囲 　−３０〜５０℃　温度安定度　±0．05℃以下 （右写真は半導体素子冷却用）